1 样品尺寸要求:TEM制样的样品表面最好抛光,尺寸最好小于20mm;SEM制样的样品颗粒需在微米级;
2 样品中有磁性元素也可制样测试;另外请备注下样品的导电性,若导电性较差,会对样品进行喷金,粉体样一般是滴在硅片上风干后制样。
1 样品尺寸要求:TEM制样的样品表面最好抛光,尺寸最好小于20mm;SEM制样的样品颗粒需在微米级;
2 样品中有磁性元素也可制样测试;另外请备注下样品的导电性,若导电性较差,会对样品进行喷金,粉体样一般是滴在硅片上风干后制样。
1 FIB TEM制样步骤是什么?
找到目标位置,表面喷Pt保护➡把目标位置前后两侧挖空,剩下目标区域➡用机械纳米手将这个薄片取出,开始离子束减薄➡减薄到理想厚度后,将样品焊到铜网上的样品柱上(一个铜网上有4个柱子,最多可以放4个样品)
注意事项:制备好的样品,需要装在自吸附盒里,避免强烈碰撞导致样品从样品柱上脱落,一旦脱落,样品无法找回。