外力撤除后在材料内部残留的应力就是残余应力。但是，习惯上将残余应力分为微观应力和宏观应力。两种应力在X射线衍射谱中的表现是不相同的。
微观应力是指晶粒内部残留的应力，它的存在，使衍射峰变宽,而超微观应力的存在则会使衍射峰强度降低。这种变宽通常与因为晶粒细化引起的衍射峰变宽混杂在一起，两者形成卷积。通过测量衍射峰的宽化，并采用近似函数法或傅立叶变换方法来求得微观应力的大小。
宏观应力是指存在于多个晶体尺度范围内的应力，相对于微观应力存在的范围而视为宏观上存在的应力。一般情况下，残余应力的术语就是指在宏观上存在的这种应力。宏观残余应力（以下称残余应力）在X射线衍射谱上的表现是使峰位漂移。当存在压应力时，晶面间距变小，因此，衍射峰向高角度偏移，反之，当存在拉应力时，晶面间的距离被拉大，导致衍射峰位向低角度位移。通过测量样品衍射峰的位移情况，可以求得残余应力。
1、尺寸：边长大于5mm，小于3cm，厚度小于8mm，其他尺寸可以先写测试单我们确认。
2、XRD测得是宏观残余应力，做残余应力前，肯定要先做普通的XRD，且在谱图中可以找到一个强度较高的独立的峰，且要知道该峰的晶面指数和2θ角位置，以及该物质的泊松比和弹性模量。
3、如果是混合物，则需每一物相满足该条件，测出每一物相的残余应力，在按不同的体积比进行计算整个试样的残余应力.
4、切割时最好手工，否则容易带入外来的应力。
5、样品是各向异性，那要明确测得是哪个方向（比如冷轧板按照纤维方向和垂直纤维方向残余应力是不一样的）。
6、有基地的薄膜样品，样品薄的需要掠入射XRD测试。
7、残余应力剥层测试、测试靶材有要求请特殊备注。
8、 GB/T 7704法 http://www.doc88.com/p-7088693400638.html
cos α法 https://mp.weixin.qq.com/s/xx8qCBWIg9GmfD-Ry3Vg2Q
