XPS数据分析可以对全谱进行定性定量分析；精细谱定量分析，以及标注拟合元素的化学态、峰位置和含量；此外，XPS数据分析还可以做ARXPS线扫、面扫、深度剖析等特殊数据的分析。
使用的软件有Casa，Multipak和Avantage，主要分析方法是查找资料，根据数据的峰形、结合能等信息判断元素组成，化学态，价态等。
服务须知
对数据要求：需要分析的精细谱有谱峰出来；
注意事项：
1. XPS数据分析是基于您的数据真实反馈再结合数据分析的基本原则分析，XPS主要是分析化学价态的，对提供的化学结构能起到辅助作用，针对配体新材料，合金材料，我们参考数据库资料里面物质（单质，氧化物，简单化学式等）资料分析，不会有您本身研究的这个新材料一模一样或者类似的晶体结构分析文献。
2. 通过XPS数据处理软件Avantage 对C1s精细谱进行分峰拟合，根据C1s的峰型和能量位置可以把C1s分成四种化学态：结合能在283.5-284.0eV附近的C1s 主要归属为无机碳；吸附碳和有机碳C-C/C-H 结合能通常在 285eV附近；C-O/C-N 化学键的结合能通常在285.8~287 eV之间；而C=O化学键的结合能通常在287.5~288.5eV之间；通过分峰拟合得到不同化学态以及不同化学态的原子百分含量（如结果展示中定量数据所示）。
3. XPS数据分析结果提供excel格式文件，里面的原始数据，可以用Origin画图。
