Rietveld精修能够提取多晶衍射谱图中的全部信息，越来越成为主流的XRD数据处理方式。通过Rietveld精修，可以获得精确的晶胞参数、晶粒尺寸、微观应变、温度因子、占位率、物相含量等信息。Rietveld精修分析的一般流程是
1. 选择合适XRD仪器。
仔细使用标准样品按照厂家给的操作规程进行校准，记录仪器的零点误差，部分精修软件需要这个参数值；仪器分辨率越高越好，影响分辨率的因素包括光管的焦斑大小、测角仪半径、狭缝等等。但也不要过分追求分辨率，比如增大测角仪半径会提升分辨率，但会导致谱图强度的下降，需要小心的权衡。
2. 样品制备策略
采用合适策略研磨粉末至无颗粒感，颗粒最佳大小在1-10μm。取适量粉末倒入样品池，轻轻压平，确保粉末表面与样品池上表面等高。
块状样品需要将测试部位加工平整，并小心安装样品，确保样品测试面与聚焦圆相切。
3. 选择合适的测试参数
选择合适的测试参数，管流、管压、狭缝宽度、测试时间或扫描速度，记录所有的测试参数。确保衍射图最强峰强度大于10000counts，中等强度的衍射峰强度大于3000counts。尽量测试到120°或更高的2Theta角度范围。高质量谱图是得到好的精修结果的前提。某些精修软件如TOPAS使用前述参数中的狭缝宽度等参数计算仪器展宽的理论值，另一些软件如GSAS、MAUD等使用标准样品获得仪器参数文件。需要注意的是，标准样品的测试参数要与实际样品的测试参数一致。通常可以向仪器管理人员索取标准样品的测试谱图，按照软件手册制作仪器参数文件，部分实验室可以直接提供仪器参数文件。
4. 物相鉴定与获取cif文件
仔细完成物相鉴定，从数据库获取cif文件。常用的数据库如ICDD的PDF4+卡片库或PDF5数据库（2024年开始发行）、ICSD无机物库、剑桥结构数据库（CSDS）、晶体学开放数据库（COD）等。如果初步精修发现某些衍射峰没有相应的布拉格线或计算谱，则需要返回检查物相鉴定结果，是否需要增加物相。
5. Rietveld精修软件
Rietveld精修软件种类繁多，学术论文中常用的精修软件有GSAS、GSASII、Fullprof、MAUD和TOPAS，部分XRD仪器厂商的数据处理软件也可以完成Rietveld精修。选择适合软件开始你的精修。
6. Rietveld精修策略
Rietveld精修软件的实际操作往往并不容易，也没有固定的精修套路或者步骤，令初学者非常困惑。仔细阅读软件手册或者教程，并向经验人士请教，可以让你快速提高。Rietveld精修过程中，往往需要调整几十个甚至上百个参数，一个基本的策略就是不要同时放开过多的精修参数，这很容易使精修发散。另外就是影响大的因素先精修。
对于初学者建议的顺序如下：标度因子 → 谱图背景 → 晶胞参数 → 样品偏移 → 峰形（晶粒尺寸、微观应变、不对称因子等）→ 原子坐标 → 温度因子 → 择优取向 → 透明度 → 原子占位率。如果存在晶粒尺寸各向异性，则需要选择合适的模型处理，部分精修软件不能处理晶粒尺寸各向异性。不要拘泥于上述顺序。Rietveld精修没有必须要遵循的特定步骤，只要精修不发散，任何顺序都是被允许的。精修过程中，仔细观察计算谱与实测谱的差异，并思考是什么因素导致了拟合不好，这需要使用者对XRD原理和包括空间群在内的晶体学知识有较深刻的理解。
7. Rietveld精修结果的判断
使用Rwp因子、χ2来监测Rietveld精修过程，在整个精修过程中，这些因子应该一直是下降的（蒙托卡罗模拟过程例外）。通过误差线的平直程度和结构模型的化学合理性来判断Rietveld精修结果的好坏。
最后，再次强调，高质量的谱图是获得好的Rietveld精修结果的前提。选择合适的仪器设备和测试参数、采取适当的制样策略是获得高质量谱图的关键，这一点往往被忽视。实际工作中，见到不少原始谱图非常毛糙的数据（比如最强峰峰高才1000counts），这种数据即使做完了精修，其结果也是不可靠的。
